半導体のスマート製造：未来型工場を目指して

ウェハ製造工程の監視

ウェハの材料となるシリコンインゴットは、結晶成長工程とスライス工程のばらつきがないように工程を制御することが非常に重要です。ウェハ研磨は、後工程の品質に大きく影響します。こうしたウェハ製造加工に使われる装置の状態監視により、次のことが可能になります。：

• ベアリング摩耗の把握
• スピンドル不良の把握
• 衝突発生の記録

研磨工程の状態を監視して、微小な装置振動の変化から後工程の製品欠陥の兆候を早期に検出でき、均一なウェハの平坦化が実現します。

CMP装置のソリューション➜

サブファブ設備の監視

半導体製造では、サブファブと呼ばれる階下スペースに配置された生産支援設備の安定した稼働と信頼性が非常に重要です。製造の傾向を、こうした設備データから正確に把握でき、機械のパフォーマンスを示す信号パターンの変化が読み取れます。振動監視により、次のことが可能になります。：

• 重要機械の状態監視
• 故障などの根本原因の分析
• 最適なメンテナンス間隔の予測

真空ポンプのソリューション➜

タンクレベルのスマート監視により、次のことが可能になります。：

• 計画外ダウンタイムの防止
• 自動補充のアラームトリガ
• 在庫数不足のアラート

スマートレベルセンサを使い、自動補充や発注が必要な時に通知するトリガを実行できます。このデータをERPシステムに送信することにより、最適なサプライチェーンの予測と計画が実現します。

CDS装置のソリューション➜

It's not automation until it's orange.

未来型工場を実現するスマートセンサ技術とデジタル化。
自動化を叶えるifmのソリューション。