Erfahren Sie, welche Technologien in welchem Sensor zum Einsatz kommen und welche Vor- und Nachteile sie bieten.
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Die keramisch-kapazitive Messzelle besteht aus einem Grundkörper, zwei Kondensatorschichten, einem Glaslot und einer Membran.
Die Kondensatorschichten auf dem Grundkörper und der Membran sind mit einem Plattenkondensator vergleichbar und bilden einen Mess- und Referenzkondensator. Bei Druckbeaufschlagung ändert sich der Abstand zwischen der Membran und dem Grundkörper und damit die Kapazität zwischen den Elektroden. Diese Kapazitätsänderung wird ausgewertet und anschließend zu einem industrieüblichen Signal verarbeitet.
Bei dieser Messzelle sind Dehnmessstreifen in Form von Widerständen auf der Rückseite der Edelstahlmembran angebracht und zu einer Wheatstone-Brücke verschaltet. Hierbei kommt die Dickschicht- oder Dünnschichttechnik zum Einsatz. Wird die Messzelle mit Druck beaufschlagt, verformt sich die Membran. Hierdurch verändert sich das Ausgangssignal der Brückenschaltung proportional, was von der Elektronik erfasst und in ein industrieübliches Ausgangssignal umgesetzt wird.
Diese Messzelle macht sich den piezoresistiven Effekt zunutze. Der piezoresistive Effekt beschreibt die Veränderung des elektrischen Widerstands eines Materials durch Druck oder Zug. Diese Widerstandsänderung wird durch eine Brückenschaltung erfasst und in ein industrieübliches Ausgangssignal umgesetzt. Die piezoresistive Siliziummesszelle ist auf einer Leiterplatte angebracht, die durch eine Beschichtung universelle Medienbeständigkeit bietet (verschmutzte Luft, Öl, Wasser, Kühlschmiermittel usw.).