智慧半導體製造：建造未來的半導體廠

隨著半導體行業不斷創新和發展，滿足對晶片日益增長的需求，同時又不犧牲安全或品質，需要創新。

智慧製造的益處


改進品質和產量	實現永續目標	提高機器可用性

智慧製造解決方案提供新的資料源，可提高預測性維護模型的準確度，從而提高晶片品質並提高機器可用性。環境永續性對於確保整個半導體生態系統延續其發展態勢而言至關重要。進行水和能源監控可以識別效率低下的情況，從而優化製造流程。工業 4.0 計劃可提升未來半導體廠的效率和永續性。

優化生產每一步的智慧製造解決方案

ifm 是您提高 OEE 和改進能源消耗的合作夥伴

品質控制和產量提升

晶片製造監控

在晶片加工過程中，穩定地生長和切割晶錠至關重要。晶片拋光是下游生產高品質產品的基礎。監控此部分晶片製造流程中的設備有助於：

識別軸承磨損
識別主軸故障
記錄碰撞事件

此階段的基於狀況的監控可確保拋光均勻，並降低輕微振動變化被忽略並最終導致下游產品瑕疵的風險。

CMP 解決方案 ➜

實現永續目標

優化能源和資源利用

水循環利用 (精確水質監控) 和氣體減排 (消耗監控) 是保護環境的關鍵步驟。

借助 ifm 的 RTM 解決方案，客戶可以

密切注意所有單項消耗，並藉助計算值功能，同時將它們合併為綜合結果。
分別識別每個消耗項與理想狀態的偏差，從而啟動有針對性的維護或優化措施。

因此，對 IoT 解決方案的投資也是對更有效利用資源的投資，從而實現永續的成本降低。

超純水台解決方案 ➜

提高機器可用性

子廠房公用設施監控

最終，晶片的生產依賴於子廠房設備的一致性和可靠性。精確監控有助於製造商了解其資料的趨勢並識別顯示機器效能變化的模式。振動監控有助於：

監控關鍵機械
執行根本原因分析
預測最佳維護間隔

真空泵解決方案 ➜

智慧桶槽液位監控有助於：

防止意外停機
觸發自動補充
庫存不足時發出警報以便及時補充

借助智慧液位感測器，您可以觸發自動補充並通知需要重新訂購庫存。這些資料可以傳送到 ERP 系統，以優化供應鏈預測和規劃。

CDS 解決方案 ➜

SEMI

作為我們對半導體行業承諾的一部分，ifm 很榮幸成為 SEMI 貿易協會的一員。我們致力於推動業界的智慧製造計劃，並相信智慧解決方案將加速行業發展。透過與 ifm 合作，半導體製造商可以快速獲得更多的生產資料。如果您有任何疑問或想要個人化的策略，請聯絡我們的半導體行業工程設計專家，討論適合您的晶片製造設施的解決方案。

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